真空合金退火炉
真空炉主要用于半导体器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。该设备有单工位和多工位多种规格。
| 基础参数 | |
|---|---|
| 恒温区 | 400-1500mm |
| 工作温度 | 300-1200℃ |
| 控温精度 | ≤±1℃ |
| 内径 | 100-420mm |
| 真空度 | 10^0-10^-5Pa |
| 工作方式 | 手动、自动 |
| 控制系统 | HDC9000A |
| 特点 | |
|---|---|
| 1 | 使用9000A软件方便操作 |
| 2 | 结构可靠 |
| 3 | 具有多种安全保护功能 |
| 4 | 具有高抗干扰能力 |
| 5 | 多种工艺管路可供选择 |